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相融共進(jìn),助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展新突破
作者:sljt時(shí)間:2019-10-29

  10月27日,第二屆中國(guó)·如皋第三代半導(dǎo)體及智能制造國(guó)際研討會(huì)在如皋隆重舉行。本次研討會(huì)以“廣納高端人才智力,助推實(shí)體經(jīng)濟(jì)發(fā)展”為主題,圍繞第三代半導(dǎo)體及智能制造方面開展了學(xué)術(shù)研討和技術(shù)交流。在簽約儀式上,江蘇雙良新能源裝備有限公司(簡(jiǎn)稱“雙良新能源”)與江蘇卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司(簡(jiǎn)稱“卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體”)達(dá)成了戰(zhàn)略合作。

  近年來(lái),如皋把第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為優(yōu)先發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),建設(shè)的第三代半導(dǎo)體及激光設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)集群已初具規(guī)模。本次大會(huì)吸引了來(lái)自俄羅斯、烏克蘭、白俄羅斯、德國(guó)等國(guó)際知名學(xué)者參加,同時(shí)集聚了上海復(fù)旦大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、西安交大、臺(tái)灣工研院等知名高校、科研院所的行業(yè)領(lǐng)軍人物,以及來(lái)自業(yè)界上百家半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)。

  會(huì)上,中烏第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院正式成立。該研究院由烏克蘭國(guó)家科學(xué)院(單晶研究院)、如皋高新區(qū)、卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體發(fā)起成立,今后將開展第三代半導(dǎo)體晶體制造智能裝備、大功率用晶圓、功率芯片及器件、光電材料、激光晶體材料及其他功能性晶體材料和設(shè)備等關(guān)鍵技術(shù)研究。

雙良低碳產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院院長(zhǎng)吳剛與卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體董事長(zhǎng)張新峰在現(xiàn)場(chǎng)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議

  簽約儀式上,雙良新能源與卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體達(dá)成了戰(zhàn)略合作。兩家公司的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,旨在以國(guó)家大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、地方產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新升級(jí)為契機(jī),通過(guò)戰(zhàn)略合作實(shí)現(xiàn)雙方優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),填補(bǔ)國(guó)內(nèi)大尺寸單晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域空白,并推動(dòng)第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶體量產(chǎn)化,實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在高端裝備制造領(lǐng)域自主化取得新突破。

合作項(xiàng)目

  • 集成電路級(jí)大尺寸高性能單晶硅的生長(zhǎng)智能裝備技術(shù)的開發(fā)合作

  • 第三代半導(dǎo)體碳化硅晶體批量生產(chǎn)項(xiàng)目的量產(chǎn)化技術(shù)合作

  卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體是致力于全自動(dòng)晶體生長(zhǎng)裝備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售以及晶體材料精加工的高新科技企業(yè),目前正著力發(fā)展“第三代半導(dǎo)體”碳化硅(SiC)晶體的裝備制造和晶圓生產(chǎn)業(yè)務(wù),公司在半導(dǎo)體晶體領(lǐng)域擁有豐富的學(xué)術(shù)理論和實(shí)操經(jīng)驗(yàn)。

  多年來(lái),依托強(qiáng)大的國(guó)家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心和博士后科研工作站,雙良新能源持續(xù)專注于多晶硅還原系統(tǒng)成套工藝裝置的研發(fā)和制造,推動(dòng)多晶硅行業(yè)核心設(shè)備還原爐打破國(guó)外壟斷格局,綜合技術(shù)水平業(yè)內(nèi)領(lǐng)先。雙良還原爐目前已形成了從12對(duì)棒到72對(duì)棒產(chǎn)品系列化,其中按照電子級(jí)多晶硅要求設(shè)計(jì)制造的24對(duì)棒還原爐也已取得了成功應(yīng)用,在性價(jià)比方面相較進(jìn)口設(shè)備更具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

  在全球產(chǎn)能逾萬(wàn)噸級(jí)的18家企業(yè)中,有10家來(lái)自中國(guó),雙良設(shè)備為這10家多晶硅行業(yè)骨干企業(yè)提供持續(xù)、穩(wěn)定、健康的服務(wù)。迄今為止,雙良新能源已累計(jì)為全國(guó)多晶硅企業(yè)提供了五千多套生產(chǎn)設(shè)備,包括精餾塔、雙管板換熱器和大型吸附設(shè)備等,推動(dòng)著國(guó)內(nèi)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的工藝變革和產(chǎn)品質(zhì)量提升。

  此次合作,依托雙良節(jié)能整體的質(zhì)量體系管控實(shí)力和相關(guān)產(chǎn)業(yè)設(shè)施配套資源、雙良新能源多晶硅裝備制造核心技術(shù)和自動(dòng)化控制系統(tǒng)開發(fā)能力,以及雙良節(jié)能旗下的雙良低碳產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院的團(tuán)隊(duì)支持,卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體能在晶體爐設(shè)備研發(fā)方面獲得最優(yōu)最快的機(jī)械加工制造條件和行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。雙良將借助卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體在晶體材料及全自動(dòng)智能設(shè)備制造方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)勢(shì)資源,快速進(jìn)入半導(dǎo)體單晶爐及第三代半導(dǎo)體碳化硅高端裝備制造領(lǐng)域,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)由傳統(tǒng)制造向高科技智能制造的轉(zhuǎn)型升級(jí)。

  當(dāng)前,新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革正在重構(gòu)全球創(chuàng)新版圖,全球科技創(chuàng)業(yè)浪潮從互聯(lián)網(wǎng)、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)進(jìn)入到“硬科技”階段。第三代半導(dǎo)體、激光器件等大量新興技術(shù)突破原有產(chǎn)業(yè)邊界,向各行業(yè)跨界滲透、融合發(fā)展,催生出大量新技術(shù)、新業(yè)態(tài)和新增長(zhǎng)點(diǎn),帶動(dòng)制造業(yè)呈現(xiàn)出數(shù)字化、智能化的發(fā)展趨勢(shì)。

  單晶硅是典型的第一代半導(dǎo)體材料,以高純度(99.9999999%至99.9999999999%)的多晶硅為原料,通過(guò)單晶爐拉制而成。這種良好的半導(dǎo)體材料被廣泛用于制造超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體芯片、記憶體芯片和中低頻、中低功率器件等,是現(xiàn)代信息社會(huì)不可或缺的基礎(chǔ)物質(zhì)。由于單晶硅在諸多領(lǐng)域有著不可替代的地位,歐美日等發(fā)達(dá)國(guó)家紛紛將其提升至國(guó)家戰(zhàn)略層面,爭(zhēng)搶技術(shù)制高點(diǎn)。伴隨半導(dǎo)體信息產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,單晶硅材料與單晶爐的市場(chǎng)需求都十分旺盛。

  據(jù)Yole Development(法國(guó)知名市場(chǎng)調(diào)研和戰(zhàn)略咨詢公司)預(yù)計(jì),未來(lái)五年,IC硅(電子級(jí)硅)市場(chǎng)將持續(xù)供不應(yīng)求,豐厚的市場(chǎng)回報(bào)將進(jìn)一步支撐技術(shù)開發(fā),持續(xù)拉大技術(shù)差距。我國(guó)目前已較為全面地布局了IC 硅全產(chǎn)業(yè)鏈,并在磊晶階段日趨成熟,但在晶圓和設(shè)備制造環(huán)節(jié)仍在努力實(shí)現(xiàn)突破。目前,世界市場(chǎng)上90%的電子級(jí)大尺寸單晶片供應(yīng)都由世界前五家頭部企業(yè)壟斷。國(guó)內(nèi)用于制造大規(guī)模集成電路的 8-12 英寸單晶硅,絕大部分來(lái)自進(jìn)口。而用于制造極大規(guī)模集成電路的大直徑(12英寸以上)高性能單晶硅,其生長(zhǎng)工藝、設(shè)備技術(shù)等更被國(guó)外企業(yè)壟斷。中國(guó)企業(yè)要想不被“卡脖子”,單晶硅及其生產(chǎn)裝備完全自主化是必由之路。

  在傳統(tǒng)制造業(yè)面臨新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的當(dāng)下,雙良牢記初心使命,向著高端產(chǎn)品智能制造、服務(wù)型制造的高質(zhì)量發(fā)展目標(biāo),接續(xù)奮斗前行。站在新的高技術(shù)領(lǐng)域,雙良將與卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體攜手共進(jìn),為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新活力,做出新貢獻(xiàn)。